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氣動超高真空插板閥技術(shù)參數(shù)

時間:2023/10/26 21:52:13 來源:致能真空閥門

CCQ型系列氣動超高真空插板閥是用壓縮空氣為動力,通過電磁換向閥改變氣路方向,推動氣缸活塞,通過傳動桿推(拉)動連桿機(jī)構(gòu),驅(qū)動閥板沿軸向運(yùn)動,實(shí)現(xiàn)閥板開啟或關(guān)閉,從而達(dá)到在超真空系統(tǒng)中接通或切斷氣流的目的。在結(jié)構(gòu)設(shè)計上合理,在外觀上美觀,并具有動作平穩(wěn),體積小,流量大,使用可靠,密封性能好和壽命長等優(yōu)點(diǎn),能廣泛應(yīng)用于超高真空設(shè)備中。

適用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣及非腐蝕性氣體

適用范圍(Pa)

  105~1.3×10-7

閥門漏率(Pa.L/S)

  DN≤200為≤1.3×10-7

  DN≥250為≤6.7×10-7

閥門烘烤溫度(℃)

  ≤150(除傳動裝置外)

開閥時閥板兩側(cè)壓力差(Pa)

  ≤2.7×103

氣源壓力(MPa)

  0.4~0.7

電源電壓

  標(biāo)準(zhǔn)出廠:AC220V/50Hz

  特殊指定:①AC110V;②DC24V;③DC12V等

信號反饋

  標(biāo)準(zhǔn)出廠:不帶反饋信號

  特殊指定:磁性開關(guān)DC/AC5~240V

安裝位置

  任意

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